990,5% высокочистый PSA кислородный генератор для полупроводниковой промышленности

Генератор кислорода PSA(Генератор кислорода под давлением) является ключевым чистым оборудованием в полупроводниковой промышленности.достигает глубокой очистки с помощью двуслойных молекулярных ситов (обычные молекулярные ситы + высокочистые молекулярные ситы) для получения кислорода высокой чистоты с концентрацией более 990,5%.

Он обладает основными преимуществами, такими как стабильная чистота, высокая чистота, надежная эксплуатация и нулевые выбросы загрязняющих веществ,который может отвечать строгим требованиям к чистоте и чистоте кислорода в таких процессах, как окисление и отложение тонкой пленки во время производства полупроводников. В качестве конфигурации верхнего уровня дляПСА кислородная чистота завода, примеси (азот, влага, углекислый газ и т.д.) в кислороде, вырабатываемом этим оборудованием, контролируются ниже уровня ppm,избежание снижения производительности чипа, вызванного недостаточной чистотой кислородаЭто незаменимое оборудование для подачи кислорода для производства полупроводников.

Производство полупроводников представляет собой вершину высокоточного производства, с процессами чипа, которые вошли в нанометровый масштаб (5 нм, 3 нм).снижение производительностиКислород в основном используется в таких основных процессах, как окисление (образование изоляционных слоев SiO2) и химическое осаждение паров (CVD) в производстве полупроводников.Чистота кислорода напрямую влияет на однородность толщины изоляционного слоя, сцепление пленки и электрические характеристики чипа.

Обычный кислород промышленного класса (93% чистоты) содержит такие примеси, как азот и влага, которые могут образовывать дефекты на поверхности чипа, что приводит к снижению урожайности на 10-20%; напротив, 99.5% кислорода высокой чистоты может контролировать содержание примесей ниже уровня ppm, эффективно предотвращая образование дефектов и обеспечивая стабильный урожай чипа выше 90%.Генератор кислорода PSAможет глубоко удалять из воздуха такие примеси, как азот, влага и углекислый газ.ПСА кислородная чистота заводаточность управления значительно превышает традиционное оборудование для производства кислорода, полностью отвечая требованиям процесса производства полупроводников.

Кроме того, производство полупроводников имеет чрезвычайно высокие требования к чистоте кислорода. Выпускный газ должен соответствовать классификации чистого помещения класса 100 (не более 100 частиц ≥ 0.5 мкм на кубический фут воздуха).Генератор кислорода PSAоснащен высокоэффективной системой фильтрации газа, которая может фильтровать крошечные частицы кислорода, избегая загрязнения частицами на поверхности чипа и обеспечивая качество чипа.

При покупкеГенератор кислорода PSA, предприятия полупроводников должны соблюдать четыре основных принципа: "квалифицированная чистота, совместимость с чистыми помещениями, стабильность и надежность и полная квалификация поставщиков".

• С точки зрения чистоты, необходимо выбирать оборудование с чистотой кислорода ≥ 99,5% и содержанием примесей, соответствующее требованиям полупроводниковых процессов.и требовать от поставщиков предоставления отчетов о испытаниях третьих лиц (например, SGS), ITS)
• Что касается совместимости с чистыми помещениями, необходимо подтвердить, что чистота выпускных газов оборудования составляет ≥ класс 100 и чехол оборудования соответствует требованиям установки в чистых помещениях.
• С точки зрения устойчивости и надежности, приоритет следует отдавать продуктам с продолжительностью непрерывной работы ≥8000 часов/год и гарантией на основные компоненты ≥3 года.
• Квалификация поставщиков имеет решающее значение.кислородные установки на основе ПСАквалификация производителя, сертификация системы менеджмента качества ISO9001 и соответствующие сертификации отрасли полупроводников (например, сертификация SEMI),и требовать от них предоставить успешные случаи в полупроводниковой промышленности

Послепродажное обслуживание должно соответствовать высоким требованиям полупроводниковой промышленности.и быстрые поставки запасных частей для обеспечения долгосрочной стабильной работы оборудования.

С его преимуществом высокой чистоты 99,5%,Генератор кислорода PSAОн стал эталоном для чистого снабжения кислородом в производстве полупроводников.и стабильная рабочая производительность может обеспечить надежную поддержку подачи кислорода для полупроводниковых процессов, что делает его ключевым оборудованием для предприятий по производству микросхем для повышения урожайности и снижения затрат.