Электротехническая промышленность PSA азотный генератор
A PSA Nitrogen Generator (Pressure Swing Adsorption nitrogen generator) is a specialized industrial device that leverages PSA technology to separate nitrogen from ambient air using carbon molecular sieve (CMS) selective adsorptionЭтот завод по производству азотного газа производит ультра высокочистый азот специально для применения в электронной промышленности, включая производство полупроводников, сварку ПКБ,и упаковки электронных компонентовСпособен достигать уровня чистоты азота до 99,9995%, обеспечивает стабильную работу и экономически эффективное снабжение на месте в качестве альтернативы традиционному жидкому азоту.
Основные технические параметры
| Выпуск кислорода (Nm3/h) |
Чистота (%) |
Потребление воздуха прибора (м3/ч) |
Потребление воды (м3/ч) |
Потребление энергии (КВт) |
Общая мощность (кВт) |
Тип постельного слоя |
Площадь (M3) |
| 50 | 90 | 10 | 3 | 32.5 | 40 | вертикальный | 6х9 |
| 150 | 90 ~ 93 | 20 | 15 | 65 | 85 | вертикальный | 9 x 9 |
| 200 | 90 ~ 93 | 25 | 15 | 86 | 110 | вертикальный | 9 x 9 |
| 300 | 90 ~ 93 | 30 | 30 | 132 | 155 | вертикальный | 14 x 12 |
| 400 | 90 ~ 93 | 40 | 30 | 172 | 205 | вертикальный | 15 x 14 |
| 600 | 90 ~ 93 | 50 | 45 | 258 | 320 | вертикальный | 12 x 18 |
| 800 | 90 ~ 93 | 60 | 50 | 344 | 410 | вертикальный | 15 x 18 |
| 1000 | 90 ~ 93 | 65 | 60 | 436 | 550 | вертикальный | 16 x 18 |
| 1500 | 90 ~ 93 | 90 | 90 | 675 | 845 | вертикальный или горизонтальный | 18 x 18 |
| 2000 | 90 ~ 93 | 100 | 150 | 900 | 1060 | вертикальный или горизонтальный | 18 x 24 |
Настройка для электроники
Этот завод по производству азотного газа специально разработан для электроники. Различные производственные процессы требуют различной чистоты азота, скорости потока,и параметры давленияДля изготовления полупроводниковых пластин конфигурация генератора N2 высокой чистоты 99,999% обеспечивает инертную атмосферу во время процессов гравирования и осаждения.системы среднего потока достаточны для волновой сварки и инертирования сварки с повторным потокомДополнительные модули очистки могут быть интегрированы для удовлетворения сверхчистых требований производства микроэлектронных компонентов.
Применение азота высокой чистоты
Высокочистый азот необходим в производстве электроники для обеспечения качества производства.азот очищает процессовые камеры и вытесняет влагу и кислород, которые могут вызвать кристаллические дефектыВ производстве светодиодных микросхем он служит газоносным носителем для эпитаксиального роста, обеспечивая равномерное осаждение пленки.Инертирование азота предотвращает тепловое отключение при покрытии электродов и сборке ячеекГенератор азота PSA электронного класса включает в себя строгие процедуры очистки воздуха для удаления частиц, влаги и углеводородов, соответствующие стандартам SEMI для высококлассных электронных продуктов.
Совместимость безопасности и чистых помещений
Проектированный для электронных помещений чистых помещений, генератор азота PSA имеет модульную конструкцию для минимального использования и совместимости с чистыми помещениями.Бесмасляные компрессоры и герметические материалы пищевого качества обеспечивают отсутствие загрязнителей азотаДля объектов с строгими правилами пожарной безопасности доступны взрывостойкие варианты с противопламенными электрическими компонентами и устройствами для снижения давления.Интеллектуальная система управления PLC включает в себя несколько функций защиты безопасности, таких как сигнализация о перенапряжении, сигнализация отклонения чистоты и самодиагностика ошибок.
Профессиональный выбор производителя
Выбор опытного производителя азотных установок PSA с опытом в области электроники имеет решающее значение для качества оборудования и обслуживания.численность технической команды, а также всеобъемлющую послепродажную поддержку, включая установку на месте, ввод в эксплуатацию и техническую помощь 24/7.Профессиональные производители предлагают долгосрочные планы обслуживания и услуги по регенерации CMS для продления срока службы оборудования и снижения затрат на обслуживание.