Russian
Предыстория клиента
Предприятие специализируется на производстве фоторезистов и электронных специальных газов для полупроводников. Процесс очистки озоновым окислением на его заводе требует стабильной поставки кислорода высокой чистоты (≥99,2%), а оборудование должно соответствовать южнокорейским стандартам безопасности промышленных газов и требованиям безпылевого производства полупроводниковой промышленности.
Основные болевые точки
-
Первоначальный способ поставки жидкого кислорода имеет потери при транспортировке (около 5%) и сильно зависит от колебаний международных цен на жидкий кислород, что приводит к недостаточной стабильности поставок;
-
Производство полупроводниковых материалов предъявляет чрезвычайно высокие требования к чистоте кислорода, необходимо контролировать содержание частиц ≤ 0,1 мкм и исключить масляное загрязнение;
-
Завод имеет ограниченное пространство, требующее компактной конструкции оборудования, при этом необходимо соблюдать строгие требования Южной Кореи к выбросам в окружающую среду.
Решение
GNEE предоставила одну установку системы получения кислорода VPSA высокой чистоты производительностью 800 Нм³/ч, приняв индивидуальное решение "безмасляный процесс + многоступенчатая очистка":
-
Выбраны импортные безмасляные воздушные компрессоры в сочетании с трехступенчатыми фильтрами (прецизионная фильтрация + адсорбция активированным углем + высокоэффективное удаление масла), обеспечивающие содержание частиц кислорода менее 0,05 мкм и содержание масла ≤ 0,001 мг/м³;
-
Применены высокоэффективные литиевые молекулярные сита и двухбашенная адсорбционная структура, а путем оптимизации цикла адсорбции-десорбции чистота кислорода стабильно поддерживается на уровне 99,3%-99,5%;
-
Оборудование имеет модульную интегрированную конструкцию, а его занимаемая площадь на 40% меньше, чем у традиционного оборудования, что соответствует требованиям завода к пространству.
Эффекты применения
-
Стабильная поставка: реализован режим производства кислорода на месте «производство по требованию и немедленное использование», полностью заменивший поставку жидкого кислорода. Годовые затраты на потери при транспортировке снижены более чем на 300 000 долларов США, а колебания чистоты кислорода составляют ≤ 0,1%;
-
Улучшение процесса: кислород высокой чистоты увеличивает эффективность очистки фоторезиста на 15%, а выход продукции увеличивается с 96,2% до 98,5%, что позволяет получить сертификацию цепочки поставок Samsung Electronics;
-
Соответствие требованиям и энергосбережение: оборудование прошло соответствующую сертификацию, выбросы отработанных газов ниже южнокорейских экологических стандартов. Удельное энергопотребление кислорода составляет 0,35 кВт·ч/м³, что на 8% ниже, чем у местного оборудования в Южной Корее.
В дополнение к кислородным генераторам VPSA мы также производим кислородные генераторы PSA, резервуары для хранения, теплообменники и другую продукцию. Если вы заинтересованы в системах получения кислорода VPSA или другой продукции, пожалуйста, не стесняйтесь отправить электронное письмо по адресу info@gneeheatex.com. Мы будем очень рады вам помочь.
